洁净室气密测试的原理与方法介绍

日期：2025-04-25 20:13

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摘要：

洁净室气密测试是一种评估洁净室气密性的重要方法。气密性指的是洁净室外部空气进入室内的难易程度，良好的气密性可以防止外部污染物的侵入，确保室内环境维持在规定的洁净标准内。气密测试通常会在洁净室建成后和使用过程中定期进行，以确保其功能持续发挥。

气密测试的原理主要基于伯努利原理和流体动力学。两者结合可以帮助我们理解空气在洁净室内外流动的方式，以及造成气密性问题的原因。测试的主要目标是评估洁净室的进气量与排气量之间的差异，借此判断气密性状况。

在洁净室正常工作时，室内和室外的压力差应保持在一定范围内。如果出现压力差变化过大，可能会导致污染物的侵入或空气过分排出。因此，气密测试的核心便是测量这些压力差并评估其对洁净室性能的影响。

气密测试方法主要有以下几种：

定压差法是通过在洁净室内外施加不同的压力，来评估空气流通情况的一种方法。具体步骤如下：

1. 在洁净室内设置好压力传感器，测量室内压力。

2. 使用风机在洁净室外施加负压或正压。

3. 记录定时做压力差变化的数据。

4. 通过分析数据，判断洁净室的气密性良好与否。

渗漏测试法用于检测洁净室各个部位可能存在的渗漏点。具体操作如下：

1. 使用气体探测器，确定洁净室的潜在渗漏区域。

2. 将探测器放置在洁净室的关键区域，检测气体浓度的变化。

3. 如果探测到气体泄漏，结合专业修复工具进行补救。

风速测试法主要用于评估洁净室不同位置的空气流速。其步骤包括：

1. 在洁净室不同高度和位置设置风速计。

2. 监测空气流速度，确保洁净室内的空气流动均匀。

3. 分析数据，判断是否需要调整通风系统以提高气密性。