洁净室气密测试程序的描述
洁净室气密测试程序的描述
日期：2024-04-25 15:43
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摘要：
洁净室气密测试程序：
1.确定采样点的位置及数量，采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内，并应位于工作面高度。
2.确定单次*小采样量与取样时间。每个采样点的采样量应至少为2L，采样时间应至少为1min，当洁净室(区)仅有1个采样点时，在该点应至少采样3次。METone3445尘埃粒子计数器采样流量为100L/min，因此单次取样时间1分钟时，能满足测试要求。
3.粒子计数器的采样探头不得直接置于送风口整下方。当测单向流设施的洁净度时，采样头应对准气流;当测非单向流时，采样探头一律朝上。
4.室内测试人员应穿洁净服，不得超过3人，测试人员应位于测试点的下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时，动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。
5.当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限;当采样点为1个以上10个以下时，除应计算各采样点的平均值和总平均值外，还应计算计算95%置信上限。