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洁净室气密测试基本原理描述

洁净室气密测试基本原理描述

日期:2025-04-24 12:34
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摘要:
 洁净车间(室)竣工完成之后,需要对洁净车间(室)进行多种检测及测试项目,目的是查看和了解洁净车间(室)的各项指标是否合格;但有时候我们检测的项目更多的是温湿度、尘埃粒子、地面导电电阻、墙面抗电电阻、照度、送回风量、风压、压强等等,唯独很少做洁净车间(室)的气密性检测。

洁净室气密测试基本原理:

       1、维持无尘车间(室)内为正压或负压均能达到检测要求,但必要条件准许时,负压洁净车间(室)宜用正压检测,正压洁净车间(室)宜用负压检测。

       2、可按下面两种方式方法开展气密性检测:

       2.1 - 压力衰减法

       使洁净车间(室)内达到某一压力(正压或负压),然后关掉供压或抽负压系统,仔细观察压力随时间慢慢哀减的情况,然后记录下压力衰减到开始压力的二分之一时用到的时间,便是测量洁净车间(室)内正压或负压的半衰期。

       2.2 - 恒压法

       使洁净车间(室)内达到某一正压,与此同时向洁净车间(室)内补气,使室压达到要求的稳定值而不降低时的补气量便是漏泄量。使洁净车间(室)内达到某一负压,使室压维持要求的稳定值而不降低时的抽气量便是漏泄量。

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